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本发明提供了一种集成热电阻式扫描热探针及其制备方法，属于微纳加工、纳米尺度热表征以及扫描探针技术领域。本发明的集成热电阻式扫描热探针包括衬底、氧化层、低阻值硅层、探针臂、针尖以及金属电极。本发明在AFM探针的基础上，采用探针臂分离结构并在分...
该专利属于同济大学所有，仅供学习研究参考，未经过同济大学授权不得商用。

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