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本技术公开了一种可除尘的晶圆加工用切割装置，涉及晶圆加工领域，处理箱顶端的两侧均固定连接有纵向电动滑轨组，所述纵向电动滑轨组顶端滑动连接有横向电动滑轨组，且横向电动滑轨组的一端滑动连接有气动伸缩杆。该可除尘的晶圆加工用切割装置，在切割的同时...
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