下载晶体生长设备及晶体生长方法的技术资料

文档序号:44574657

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本公开涉及晶体生长设备及晶体生长方法。在一方面中,提供了一种晶体生长设备,其包括:坩埚,用于在其中容置原料和籽晶;退火腔室,在其内设置有用于提供第一热场的第一热场结构;生长腔室,在其内设置有用于提供第二热场的第二热场结构,第一热场的径向温度...
该专利属于重庆奕欣科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过重庆奕欣科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。