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晶体生长设备及晶体生长方法技术
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本公开涉及晶体生长设备及晶体生长方法。在一方面中,提供了一种晶体生长设备,其包括:坩埚,用于在其中容置原料和籽晶;退火腔室,在其内设置有用于提供第一热场的第一热场结构;生长腔室,在其内设置有用于提供第二热场的第二热场结构,第一热场的径向温度...
该专利属于重庆奕欣科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过重庆奕欣科技有限公司授权不得商用。
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