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本申请涉及工艺处理设备技术领域，尤其涉及到一种进气分流器、吹扫结构及工艺腔室。该进气分流器包括分流器本体；分流器本体具有第一端面、第二端面以及位于第一端面和第二端面之间的侧面；分流器本体设置有换向通道和导流通道，换向通道连通于侧面与第一端面...
该专利属于深圳市新凯来工业机器有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市新凯来工业机器有限公司授权不得商用。

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