进气分流器、吹扫结构及工艺腔室制造技术

本申请涉及工艺处理设备技术领域，尤其涉及到一种进气分流器、吹扫结构及工艺腔室。该进气分流器包括分流器本体；分流器本体具有第一端面、第二端面以及位于第一端面和第二端面之间的侧面；分流器本体设置有换向通道和导流通道，换向通道连通于侧面与第一端面之间，导流通道连通于第一端面和第二端面之间，换向通道和导流通道相互隔离。该进气分流器可以对吹扫气体进行流通方向的调整，使得吹扫气体能够通过换向通道和导流通道的导向流通到预设位置，以对吹扫结构的吹扫区域进行较为彻底的吹扫，防止出现吹扫盲区，影响吹扫效果。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及工艺处理设备，尤其涉及到一种进气分流器、吹扫结构及工艺腔室。

技术介绍

1、在工艺处理中，可以将待处理件放置于设备的腔室内进行工艺处理。其中，设备的腔室分为上下分布的上腔室和下腔室。上腔室用于通入工艺气体，以使待处理件在充满工艺气体的环境中实现工艺反应。下腔室则是通入吹扫气体，以避免工艺气体沉积对腔室造成腐蚀。

2、具体地，工艺处理设备设置有与下腔室连通的进气结构，通过该进气结构向下腔室通入吹扫气体。目前的工艺处理设备中，用于提供吹扫气体的进气结构比较简单，存在吹扫盲区，即进气结构具有吹扫气体吹扫不到的位置，存在吹扫不彻底的问题。

技术实现思路

1、本申请提供了一种进气分流器、吹扫结构及工艺腔室，该进气分流器可以应用到设备吹扫中，对吹扫结构的吹扫区域进行吹扫，不存在吹扫盲区。

2、第一方面，本申请提供了一种进气分流器，该进气分流器可以安装到进气吹扫结构的开口槽中，对吹扫结构的吹扫区域进行吹扫。在通过开口槽进行吹扫的过程中，进气分流器可以对吹扫气体进行吹扫路径改变，防止出现吹扫本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种进气分流器（10），其特征在于，包括：分流器本体（1）；

2.如权利要求1所述的进气分流器（10），其特征在于，所述换向通道（C1）包括匀气槽（C11）和至少两个分气孔（C12）；

3.如权利要求2所述的进气分流器（10），其特征在于，所述至少两个分气孔（C12）沿第一方向排布，所述第一方向（X）垂直于所述分气孔（C12）的轴心线方向。

4.如权利要求3所述的进气分流器（10），其特征在于，所述至少两个分气孔（C12）关于所述匀气槽（C11）呈中心对称分布。

5.如权利要求2-4中任一项所述的进气分流器（10），其特征在于，所述分气...

【技术特征摘要】

1.一种进气分流器（10），其特征在于，包括：分流器本体（1）；

2.如权利要求1所述的进气分流器（10），其特征在于，所述换向通道（c1）包括匀气槽（c11）和至少两个分气孔（c12）；

3.如权利要求2所述的进气分流器（10），其特征在于，所述至少两个分气孔（c12）沿第一方向排布，所述第一方向（x）垂直于所述分气孔（c12）的轴心线方向。

4.如权利要求3所述的进气分流器（10），其特征在于，所述至少两个分气孔（c12）关于所述匀气槽（c11）呈中心对称分布。

5.如权利要求2-4中任一项所述的进气分流器（10），其特征在于，所述分气孔（c12）的轴心线平行于所述匀气槽（c11）的槽底。

6.如权利要求2-4中任一项所述的进气分流器（10），其特征在于，所述分气孔（c12）垂直于轴向的最大径向尺寸为1.0mm-10.0mm。

7.如权利要求2-4中任一项所述的进气分流器（10），其特征在于，所述分气孔（c12）的数量为20-30个。

8.如权利要求1-4中任一项所述的进气分流器（10），其特征在于，还包括密封组件，所述密封组件环绕设置于所述分流器本体（1）的侧面（e3）。

9....

【专利技术属性】
技术研发人员：孙思强，王志勇，郑潇剑，陈兴，
申请(专利权)人：深圳市新凯来工业机器有限公司，
类型：发明
国别省市：