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本申请公开了一种晶圆工件台及电子束检测设备，该晶圆工件台包括底座、驱动组件和承载件；所述底座设有多个承载柱，所述承载柱用于交接晶圆；所述驱动组件安装在所述底座上，用于提供驱动力；所述承载件安装在所述驱动组件上，所述承载件包括安装板和吸盘，所...
该专利属于东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司授权不得商用。

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