下载一种低透光率的钽酸锂晶片及其制备方法的技术资料

文档序号:44568987

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本发明提供一种低透光率的钽酸锂晶片及其制备方法,属于晶圆黑化技术领域。其中,低透光率的钽酸锂晶片的制备方法包括:将硅铝凝胶、镍基催化剂、碳源置于球磨机中,球磨均匀后备用;制成碳球;复合对待加工的钽酸锂晶片的表面进行清洁;将清洁后的钽酸锂晶片...
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