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本发明提供了一种大尺寸异形平面光栅面型测量装置，包括干涉仪、与所述干涉仪位置对应的调整定位机构以及设置在所述调整定位机构上的固定框；其中，在所述固定框上开设有与待测光栅相适配的卡槽，所述待测光栅卡装在所述卡槽内并通过所述固定框上的定位件进行...
该专利属于北京华卓精科科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京华卓精科科技股份有限公司授权不得商用。

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