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本发明属于真空镀膜技术领域,公开了一种物料转移系统及方法,物料转移系统包括载物架、第一转移机构、第二转移机构、第一传送机构以及设于第一传送机构上的载架机构;其中,第一传送机构用于驱动载架机构于第一工位和第二工位之间移动;第一转移机构上的载物...该专利属于江苏微导纳米科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏微导纳米科技股份有限公司授权不得商用。
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本发明属于真空镀膜技术领域,公开了一种物料转移系统及方法,物料转移系统包括载物架、第一转移机构、第二转移机构、第一传送机构以及设于第一传送机构上的载架机构;其中,第一传送机构用于驱动载架机构于第一工位和第二工位之间移动;第一转移机构上的载物...