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一种SEM设备拍摄自动辅助调平装置制造方法及图纸
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下载一种SEM设备拍摄自动辅助调平装置的技术资料
文档序号:44565656
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本发明公开一种SEM设备拍摄自动辅助调平装置,包括支撑箱和支撑块,支撑箱内底部的中间位置设有支撑块,支撑块四周支撑箱内底端的中间位置皆设有支撑框,且支撑框内中间位置皆通过轴承座设有丝杆,且丝杆上皆通过螺纹连接有螺纹块,且螺纹块两侧的中间位置...
该专利属于芯年科技(苏州)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过芯年科技(苏州)有限公司授权不得商用。
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