一种SEM设备拍摄自动辅助调平装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种SEM设备拍摄自动辅助调平装置，包括支撑箱和支撑块，支撑箱内底部的中间位置设有支撑块，支撑块四周支撑箱内底端的中间位置皆设有支撑框，且支撑框内中间位置皆通过轴承座设有丝杆，且丝杆上皆通过螺纹连接有螺纹块，且螺纹块两侧的中间位置皆设有连接杆，连接杆的另一端皆延伸至移动槽外侧，且移动槽外侧的连接杆上皆通过轴承设有连接片，支撑块的顶部设有半圆台，半圆台顶部的中间位置设有横板，且横板底部的中间位置设有插块，且横板通过插块与半圆台的插槽相插接。本发明专利技术通过对调平台进行自动调节，可使SEM设备拍摄效果更好，且在使用前，可对调节台进行快捷组装拆卸。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及sem设备调平，具体为一种sem设备拍摄自动辅助调平装置。

技术介绍

1、‌sem设备‌，即扫描电子显微镜，是一种使用电子束扫描样品表面以实现高倍率成像的设备，可广泛应用于材料科学、生物学、医学、地质学等多个领域，而sem设备在使用时，需要使用调平设备对其进行调平，可使后续拍摄的画面更加平稳。

2、现有技术中，一般的辅助调平设备在使用时，都是人工进行调平，可能会出现一定误差，从而影响拍摄效果，且在使用时，也不方便对调平台进行拆卸更换，使其适用性较低。

技术实现思路

1、本专利技术的目的在于提供一种sem设备拍摄自动辅助调平装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种sem设备拍摄自动辅助调平装置，包括支撑箱和支撑块，所述支撑箱的顶部设有开口，且所述支撑箱内底部的中间位置设有支撑块，所述支撑块四周支撑箱内底端的中间位置皆设有支撑框，且所述支撑框内中间位置皆通过轴承座设有丝杆，且所述丝杆上皆通过螺纹连接有螺纹块，所述螺纹块两侧的本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种SEM设备拍摄自动辅助调平装置，其特征在于：包括支撑箱（1）和支撑块（2），所述支撑箱（1）的顶部设有开口，且所述支撑箱（1）内底部的中间位置设有支撑块（2），所述支撑块（2）四周支撑箱（1）内底端的中间位置皆设有支撑框（4），且所述支撑框（4）内中间位置皆通过轴承座设有丝杆（8），且所述丝杆（8）上皆通过螺纹连接有螺纹块（22），所述螺纹块（22）两侧的支撑框（4）上皆设有移动槽（10），且所述螺纹块（22）两侧的中间位置皆设有连接杆（21），所述连接杆（21）的另一端皆延伸至移动槽（10）外侧，且所述移动槽（10）外侧的连接杆（21）上皆通过轴承设有连接片（7），所述支撑块（...

【技术特征摘要】

1.一种sem设备拍摄自动辅助调平装置，其特征在于：包括支撑箱（1）和支撑块（2），所述支撑箱（1）的顶部设有开口，且所述支撑箱（1）内底部的中间位置设有支撑块（2），所述支撑块（2）四周支撑箱（1）内底端的中间位置皆设有支撑框（4），且所述支撑框（4）内中间位置皆通过轴承座设有丝杆（8），且所述丝杆（8）上皆通过螺纹连接有螺纹块（22），所述螺纹块（22）两侧的支撑框（4）上皆设有移动槽（10），且所述螺纹块（22）两侧的中间位置皆设有连接杆（21），所述连接杆（21）的另一端皆延伸至移动槽（10）外侧，且所述移动槽（10）外侧的连接杆（21）上皆通过轴承设有连接片（7），所述支撑块（2）的顶部设有半圆台（13），且所述半圆台（13）顶部的中间位置设有插槽，所述半圆台（13）顶部的中间位置设有横板（9）。

2.根据权利要求1所述的一种sem设备拍摄自动辅助调平装置，其特征在于：所述横板（9）底部的中间位置设有插块（17），且所述横板（9）通过插块（17）与半圆台（13）的插槽相插接。

3.根据权利要求1所述的一种sem设备拍摄自动辅助调平装置，其特征在于：所述横板（9）两侧的中间位置皆设有纵板（19），且所述横板（9）和纵板（19）底部远离中心一端的两侧皆设有侧块（18），且所述侧块（18）皆通过转轴与对应的连接片（7）相连。

4.根据权利要求1所述的一种sem设备拍摄自动辅助调平装置，其特征在于：所述横板（9）和纵板（19）的顶部设有调平台（5），且所述调平台（5）...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨永超，邹伟，李启龙，
申请(专利权)人：芯年科技苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：