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本申请实施例提供一种分束器及其制造方法、多束带电粒子系统、装置，涉及电子光学技术领域。该分束器包括衬底层和第一金属膜层。第一金属膜层叠置在衬底层的一侧表面。衬底层与第一金属膜层相连，衬底层用于支撑第一金属膜层。第一金属膜层具有多孔阵列，多孔...
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