温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种半导体加工用晶圆自动检测设备，涉及晶圆激光检测领域，包括底座以及底座上端固定安装的顶板，且顶板的右侧上端固定安装有驱动电机，并且驱动电机的输出端固定安装有螺纹杆，所述底座的上端放置有晶圆检测板，所述螺纹杆的表面螺纹安装有活动...
该专利属于深圳市三维机电设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市三维机电设备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。