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本发明提出了一种氧化镓晶体缺陷的表征方法及检测系统，包括以下步骤：自主搭建一套超快瞬态吸收显微成像装置；调节探测光的偏振方向使其与晶体c轴平行，测量氧化镓衬底的瞬态吸收光谱，其主要包括了缺陷态吸收信号；对氧化镓体缺陷进行瞬态吸收显微成像。本...
该专利属于中国科学院大连化学物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院大连化学物理研究所授权不得商用。

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