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本发明属于原子层沉积技术领域，涉及一种原子层沉积设备快速冷却装置，包括：加热组件，用于加热样品；检测组件，用于检测所述加热组件的温度；所述检测组件设置于所述加热组件上；冷却流体输送组件，用于向所述加热组件输送冷却流体；所述冷却流体输送组件与...
该专利属于嘉兴中科微电子仪器与设备工程中心所有，仅供学习研究参考，未经过嘉兴中科微电子仪器与设备工程中心授权不得商用。

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