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本发明涉及靶材测温设备领域，公开了一种自动测温装置，包括固定轴、活动连接在固定轴内的滑动轴、用于驱动固定轴升降的第一动力单元、用于驱动滑动轴升降的第二动力单元，所述固定轴设有与靶材内壁贴合行走的行走轮单元，所述固定轴上还设有可水平伸缩的测温...
该专利属于先导薄膜材料（广东）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过先导薄膜材料（广东）有限公司授权不得商用。

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