【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及靶材测温设备领域，尤其涉及一种自动测温装置。
技术介绍
1、在旋转靶材绑定工序中，当旋转靶材与背管内部温度达到工艺需要温度时，再对旋转靶材进行绑定，因此，需要对靶材的温度进行检测。而由于靶材的内径较小，而且靶材的长度较长，整体长度长达4米，市面上现有的测温仪器无法进行靶材内部进行测温，而且，靶材内部的温度较高，常用的电动或气动执行元件无法承受此温度，导致无法测量靶材内部的温度，只能测量靶材外壁的温度，而由于靶材外壁与空气接触，冷却速度较快，与靶材内部的温度差异较大，导致靶材需要多次绑定，效率较低且浪费劳动力。
2、cn102435332a公开了管道温度测量装置，壳体内装有温度传感器和温度数据处理装置，温度传感器和温度数据处理装置相接，壳体的底端连接有支撑杆，温度传感器的感温探头位于支撑杆的下端，支撑杆的下端部联接有导热底座，温度传感器的感温探头嵌装在导热底座内，在导热底座上联接有卡箍。该温度测量装置采用卡箍把感温探头固定在管道上，测量管道外壁的温度后，温度数据处理装置再把外壁的温度换算为管道内部气体或液体的温度...
【技术保护点】
1.一种自动测温装置，其特征在于，包括固定轴、活动连接在固定轴内的滑动轴、用于驱动固定轴升降的第一动力单元、用于驱动滑动轴升降的第二动力单元，所述固定轴设有与靶材内壁贴合行走的行走轮单元，所述固定轴上还设有可水平伸缩的测温单元，所述测温单元和滑动轴联动；
2.根据权利要求1所述的自动测温装置，其特征在于，所述测温单元包括第一固定座、第一滑动座、剪叉式伸缩模块、测温模块；所述剪叉式伸缩模块的一侧的两个支点分别与第一固定座、第一滑动座铰接；所述第一固定座固定连接在固定轴的外周；所述第一滑动座通过滑动轴驱动可沿固定轴轴向上下移动；
3.根据权利要求2...
【技术特征摘要】
1.一种自动测温装置，其特征在于，包括固定轴、活动连接在固定轴内的滑动轴、用于驱动固定轴升降的第一动力单元、用于驱动滑动轴升降的第二动力单元，所述固定轴设有与靶材内壁贴合行走的行走轮单元，所述固定轴上还设有可水平伸缩的测温单元，所述测温单元和滑动轴联动；
2.根据权利要求1所述的自动测温装置，其特征在于，所述测温单元包括第一固定座、第一滑动座、剪叉式伸缩模块、测温模块；所述剪叉式伸缩模块的一侧的两个支点分别与第一固定座、第一滑动座铰接；所述第一固定座固定连接在固定轴的外周；所述第一滑动座通过滑动轴驱动可沿固定轴轴向上下移动；
3.根据权利要求2所述的自动测温装置，其特征在于，所述滑动轴的下端部设有配重块；所述第一固定座与第一滑动座之间设有第一弹簧；所述第一弹簧用于向第一滑动座和第一固定座提供缓冲力；所述配重块的重力大于第一弹簧的弹力。
4.根据权利要求2所述的自动测温装置，其特征在于，所述测温模块包括支架和温度传感器；所述剪叉式伸缩模块的一侧的两个支点与支架以可相对转动的方式连接且其中至少一个支点可沿滑动轴的轴向相对测温模块移动所述支架设有保护外壳；所述温度传感器安装在保护外壳内；所述保护外壳由耐高温材料制成。
5.根据权利要求4所述的自动测温装置，其特征在于，所述剪叉式伸缩模块包括第一支臂和第二支臂；所述支架设有滑动槽；所述第一支...
【专利技术属性】
技术研发人员：林宇鹏，蔡基常，何绪平，张建聪，陈志杰，李远清，
申请(专利权)人：先导薄膜材料广东有限公司，
类型：发明
国别省市：
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