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本发明涉及紫外线固化技术领域，更具体地说，涉及一种主反射镜以及紫外线固化设备。本发明提供了一种主反射镜，应用于紫外线固化设备，所述主反射镜，用于反射紫外线固化光源发出的光线至半导体晶圆表面；所述主反射镜的内凹面的面型曲线符合特定的多项式曲面...
该专利属于拓荆创益（沈阳）半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过拓荆创益（沈阳）半导体设备有限公司授权不得商用。

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