温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本技术公开了一种半导体长晶设备供气系统以及长晶实验厂房，包括：长晶炉体模块、智能加热模块、支架模块、辅热器皿模块、金属颗粒过滤模块、球阀二级减压模块、工业气体供应模块，长晶炉体模块用于实现系统的控制功能，智能加热模块用于对原材料加热来实现晶...
该专利属于深圳镓芯半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳镓芯半导体科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。