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本发明公开一种CIGS薄膜太阳能电池碱金属后沉积处理装置及处理方法，属于太阳能电池技术领域，所述的装置包括工艺腔、PECVD装置和Ar进气系统，工艺腔内分别设碱金属蒸发源和偏转线圈，所述的方法是先在基板的吸收层表面蒸镀碱金属薄膜；再利用Ar...
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