一种CIGS薄膜太阳能电池碱金属后沉积处理装置及处理方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种CIGS薄膜太阳能电池碱金属后沉积处理装置及处理方法，属于太阳能电池技术领域，所述的装置包括工艺腔、PECVD装置和Ar进气系统，工艺腔内分别设碱金属蒸发源和偏转线圈，所述的方法是先在基板的吸收层表面蒸镀碱金属薄膜；再利用Ar<supgt;+</supgt;离子撞击碱金属薄膜，提高碱金属原子能量，促进碱金属原子在吸收层的前表面聚集形成合金层以及渗入吸收层的CIGS晶界中。本发明专利技术采用蒸发镀膜的方式蒸镀碱金属薄膜，可以很好地控制碱金属的量，不必进行后续清洗；等离子体撞击碱金属极大地提高了碱金属能量，实现碱金属更高效的渗入吸收层；碱金属后处理过程可以整合到一个工序，减少工序步骤，降低制作成本，简化工艺流程。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于太阳能电池，具体公开一种cigs薄膜太阳能电池碱金属后沉积处理装置及处理方法。

技术介绍

1、薄膜太阳能电池是效率最高的太阳能电池之一，具有优异的稳定性，广泛适用于光伏建筑一体化(bipv)、户用发电、设施农业等领域，应用前景广阔。cigs(铜铟镓硒)太阳能电池的碱金属后沉积处理是指在cigs光吸收层制作完成后，在吸收层上表面沉积一层碱金属以提高cigs太阳能电池的开路电压和填充因子。

2、适当的碱金属后沉积处理可以改进吸收层的表面形貌，减小缺陷浓度，弱化晶粒边界的影响力，改变能带结构，增加吸收层对光的有效吸收密度。现有cigs薄膜太阳能电池碱金属后沉积处理的方法如图1所示：先在cigs吸收层表面进行碱金属元素掺杂沉积，之后进行热处理，最后清洗碱金属残留物。此方法通过加热以使碱金属渗入cigs晶界，改善其晶界特性。此方法存在的主要问题是工序复杂，增加了加热、清洗等步骤，提高了制造成本，且仅通过加热碱金属的能量较低，难以深入cigs吸收层。

技术实现思路

1、本专利技术的目的在于解决现本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种CIGS薄膜太阳能电池碱金属后沉积处理装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的CIGS薄膜太阳能电池碱金属后沉积处理装置，其特征在于：所述的碱金属蒸发源为Na2S蒸发源或KF蒸发源。

3.根据权利要求1或2所述的CIGS薄膜太阳能电池碱金属后沉积处理装置，其特征在于：所述的PECVD装置与等离子腔之间设等离子体阀门。

4.根据权利要求1或2所述的CIGS薄膜太阳能电池碱金属后沉积处理装置，其特征在于：还包括传送辊轮，所述的传输辊轮设在工艺腔底部，用于传送基板。

5.根据权利要求4所述的CIGS薄膜太阳能电池碱金属后沉积处理...

【技术特征摘要】

1.一种cigs薄膜太阳能电池碱金属后沉积处理装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的cigs薄膜太阳能电池碱金属后沉积处理装置，其特征在于：所述的碱金属蒸发源为na2s蒸发源或kf蒸发源。

3.根据权利要求1或2所述的cigs薄膜太阳能电池碱金属后沉积处理装置，其特征在于：所述的pecvd装置与等离子腔之间设等离子体阀门。

4.根据权利要求1或2所述的cigs薄膜太阳能电池碱金属后沉积处理装置，其特征在于：还包括传送辊轮，所述的传输辊轮设在工艺腔底部，用于传送基板。

5.根据权利要求4所述的cigs薄膜太阳能电池碱金属后沉积处理装置，其特征在于：所述的传送辊轮上设有基板装载盒，用于装载基板。

6.一种cigs薄膜太阳能电池碱金属后沉积处理方...

【专利技术属性】
技术研发人员：张宽翔，蒋继文，陈涛，王昌华，吴忠宪，钟毅，王云飞，陈科宇，王雨婷，徐学东，何飞，
申请(专利权)人：凯盛光伏材料有限公司，
类型：发明
国别省市：