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本技术公开了晶圆清洗机，涉及晶圆清洗的技术领域，包括清洗壳体，所述清洗壳体的一侧机械轴连接有控制显示屏，所述清洗壳体的内部设置有清洗机构，所述清洗机构根据晶圆的直径，对清理用的设备的角度进行调节，进而满足对不同直径的晶圆进行多角度清理，便于...
该专利属于江苏锃道智能装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏锃道智能装备有限公司授权不得商用。

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