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本申请提供一种汽化过热装置和还原设备，涉及多晶硅制备技术领域，以解决相关技术的过热流程，不能较好对液相三氯氢硅进行预热，三氯氢硅的反应效率较低的问题。汽化过热装置包括预热器、汽化器和过热器；预热器壳体具有预热器釜，汽化器壳体具有汽化器釜，过...
该专利属于华陆工程科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过华陆工程科技有限责任公司授权不得商用。

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