【技术实现步骤摘要】
本申请涉及多晶硅制备，尤其涉及一种汽化过热装置和还原设备。
技术介绍
1、改良西门子方法生产多晶硅方法路线包括：利用氯化氢和工业硅粉在一定温度下反应生成三氯氢硅，同时利用冷氢化反应器，硅粉与还原尾气回收的四氯化硅、氯化氢以及氢气反应生成三氯氢硅，然后对三氯氢硅进行精馏提纯，提纯的三氯氢硅与氢气按照一定混合比例引入多晶硅还原炉，三氯氢硅被氢气还原成元素硅，并沉积在硅芯表面，逐渐生成所需规格的多晶硅。
2、相关技术中，常规的三氯氢硅汽化即过热流程为：液相三氯氢硅首先进入汽化器进行汽化，离开汽化器的气相三氯氢硅，再由管道进入过热器，经过热器过热后送还原炉进行反应。然而，相关技术中的过热流程，液相三氯氢硅在进行汽化之前，不能较好对其进行预热，三氯氢硅的反应效率较低。
技术实现思路
1、本申请的实施例提供一种汽化过热装置和和还原设备，通过预热器能够在液相三氯氢硅进行汽化之前对其进行预热处理，从而有助于提高三氯氢硅的反应效率，进而提升后续加热过程中的热效率。
2、为了实现上述目...
【技术保护点】
1.一种汽化过热装置，其特征在于，用于还原设备，所述汽化过热装置包括预热器、汽化器和过热器；
2.根据权利要求1所述的汽化过热装置，其特征在于，所述预热器和所述过热器设置在所述汽化器釜中，所述预热器釜和所述过热器釜均与所述汽化器釜连通；
3.根据权利要求2所述的汽化过热装置，其特征在于，所述汽化器釜具有连通的第一段和第二段；
4.根据权利要求3所述的汽化过热装置，其特征在于，所述汽化器釜还具有中部段，所述中部段连通于所述第一段和所述第二段之间；
5.根据权利要求4所述的汽化过热装置，其特征在于，所述预热器壳体耦合于所述第...
【技术特征摘要】
1.一种汽化过热装置，其特征在于，用于还原设备，所述汽化过热装置包括预热器、汽化器和过热器；
2.根据权利要求1所述的汽化过热装置，其特征在于，所述预热器和所述过热器设置在所述汽化器釜中，所述预热器釜和所述过热器釜均与所述汽化器釜连通；
3.根据权利要求2所述的汽化过热装置，其特征在于，所述汽化器釜具有连通的第一段和第二段；
4.根据权利要求3所述的汽化过热装置，其特征在于，所述汽化器釜还具有中部段，所述中部段连通于所述第一段和所述第二段之间；
5.根据权利要求4所述的汽化过热装置，其特征在于，所述预热器壳体耦合于所述第一段和所述中部段中，所述过热器壳体耦合于所述第二段中；
6.根据权利要求4所述的汽化过热装置，其特征在于，所述预热器壳体耦合于所述第一段和至少部分所述中部段，所述过热器壳体耦合于所述第二段和至少部分所述中部段。
7.根据权利要求4-6中任一项所述的汽化过热装置，其特征在于，还包...
【专利技术属性】
技术研发人员：薛皓中，赵国强，葛蒙，马迎杰，段毓达，柯曾鹏，韦岗锁，陈斌，陈维平，骆彩萍，
申请(专利权)人：华陆工程科技有限责任公司，
类型：发明
国别省市：
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