下载半导体封装结构及其散热装置的技术资料

文档序号:44539061

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本技术涉及一种利用硅通孔(TSV)进行散热的半导体封装结构和散热装置。所述半导体封装结构包括:硅基底,其具有第一表面和与该第一表面相对的第二表面;发热器件,其设置于所述硅基底的第一表面;以及散热机构,其设置于所述硅基底的第二表面;其中,所述...
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