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本发明公开硒化锑柔性薄膜光电探测器及其制备方法与应用、血氧检测装置，涉及光电探测器技术领域。光电探测器的制备方法包括如下步骤：以Mo为靶材，在压强为1.5～2.0Pa、功率为100～120W的条件下，在柔性衬底上磁控溅射22～25min，形...
该专利属于深圳大学所有，仅供学习研究参考，未经过深圳大学授权不得商用。

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