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本发明属于质谱分析仪技术领域，具体地说是一种用于软着陆制备质谱仪的离子软着陆装置，离子漏斗、栅网及沉积靶均设置在离子沉积腔体内，并沿X方向从左至右依次设置，离子漏斗包括八个或八个以上的离子传输电极，各离子传输电极均为中间开有通孔的平板结构，...
该专利属于中国科学院大连化学物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院大连化学物理研究所授权不得商用。

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