一种用于软着陆制备质谱仪的离子软着陆装置制造方法及图纸

本发明专利技术属于质谱分析仪技术领域，具体地说是一种用于软着陆制备质谱仪的离子软着陆装置，离子漏斗、栅网及沉积靶均设置在离子沉积腔体内，并沿X方向从左至右依次设置，离子漏斗包括八个或八个以上的离子传输电极，各离子传输电极均为中间开有通孔的平板结构，各离子传输电极中最靠近栅网的为小孔电极，各离子传输电极上的通孔形成水平同轴放置漏斗形状的离子传输腔体；进入到离子沉积腔体中的离子通过离子传输腔体，仅能通过小孔电极上的通孔到达栅网，经栅网减速的离子沉积在沉积靶上。本发明专利技术对软着陆制备质谱的软着陆部分进行合理设计，从而达到大离子流量，高效离子传输，保证离子结构完整的目的。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于质谱分析仪，具体地说是一种用于软着陆制备质谱仪的离子软着陆装置，用于制备质谱的离子软着陆。

技术介绍

1、随着表征技术的不断发展，人们对高分辨率图像的需求也越来越大；可以获得高分辨率图像的表征手段，例如扫描隧道显微镜(stm)，其样品需要极高的纯度以及平整的表面。目前小分子可以通过热蒸镀法制备样品，实现stm的高分辨成像。但是合成大分子由于其结构稳定性低的特点，不适宜采用热蒸镀法制备样品。目前合成大分子stm表征现有样品制备方法有溶液滴涂法和电喷雾法,但是这两种方法都有溶剂参与其中，制得的样品不够纯净，严重影响了stm的高分辨成像。而软着陆制备质谱通过质量选择实现原子级纯度样品的制备，并且可以调控制备量，产生单分子层表面，可以给stm提供超高纯度，表面平整的样品。现有软着陆制备质谱存在离子传输和软着陆通量低的问题。

技术实现思路

1、为了解决软着陆制备质谱存在离子传输和软着陆通量低的问题本专利技术的目的在于提供一种用于软着陆制备质谱仪的离子软着陆装置。该离子软着陆装置通过离子漏斗会聚离子，栅网沉本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于软着陆制备质谱仪的离子软着陆装置，其特征在于：包括离子漏斗传输系统及栅网软着陆系统，其中离子漏斗传输系统包括离子沉积腔体(1)及对离子有会聚作用的离子漏斗(5)，所述栅网软着陆系统包括栅网(3)及沉积靶(4)，所述离子漏斗(5)、栅网(3)及沉积靶(4)均设置在离子沉积腔体(1)内，并沿X方向从左至右依次设置，所述离子漏斗(5)包括八个或八个以上的离子传输电极(2)，各所述离子传输电极(2)均为中间开有通孔的平板结构，各所述离子传输电极(2)中最靠近栅网(3)的为小孔电极(7)，各所述离子传输电极(2)上的通孔形成水平同轴放置漏斗形状的离子传输腔体(6)；进入到所述离子沉积腔...

【技术特征摘要】

1.一种用于软着陆制备质谱仪的离子软着陆装置，其特征在于：包括离子漏斗传输系统及栅网软着陆系统，其中离子漏斗传输系统包括离子沉积腔体(1)及对离子有会聚作用的离子漏斗(5)，所述栅网软着陆系统包括栅网(3)及沉积靶(4)，所述离子漏斗(5)、栅网(3)及沉积靶(4)均设置在离子沉积腔体(1)内，并沿x方向从左至右依次设置，所述离子漏斗(5)包括八个或八个以上的离子传输电极(2)，各所述离子传输电极(2)均为中间开有通孔的平板结构，各所述离子传输电极(2)中最靠近栅网(3)的为小孔电极(7)，各所述离子传输电极(2)上的通孔形成水平同轴放置漏斗形状的离子传输腔体(6)；进入到所述离子沉积腔体(1)中的离子通过离子传输腔体(6)，仅能通过所述小孔电极(7)上的通孔到达栅网(3)，经所述栅网(3)减速的离子沉积在沉积靶(4)上。

2.根据权利要求1所述用于软着陆制备质谱仪的离子软着陆装置，其特征在于：各所述离子传输电极(2)相互平行、且相邻离子传输电极(2)之间留有间距，各所述离子传输电极(2)之间等间距设置。

3...

【专利技术属性】
技术研发人员：李海洋，黄天浩，王卫国，蒋吉春，王晨，
申请(专利权)人：中国科学院大连化学物理研究所，
类型：发明
国别省市：