下载用于电化学设备的隔膜处理装置及溅射靶的技术资料

文档序号:44532003

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本发明涉及用于电化学设备的隔膜处理装置及溅射靶。本发明提供了一种用于电化学设备的隔膜处理装置,该隔膜处理装置包括:真空室;基座,其设置在该真空室中并且被配置为允许隔膜安放在该基座上;以及溅射靶,其设置在该真空室上并且包括靶元件和发光元件,这...
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