温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请涉及晶圆搬运机器人，手臂取料结构件设置于主转动件上，用于在主转动件带动下转动；第一转动组件设置于主转动件上，第二转动组件转动设置于第一转动组件上，取料组件设置于第二转动组件上；驱动电机设置于主转动件中且与第一转动组件连接，用于驱动第一...
该专利属于深圳市锐丰视觉科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市锐丰视觉科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。