晶圆搬运机器人制造技术

本申请涉及晶圆搬运机器人，手臂取料结构件设置于主转动件上，用于在主转动件带动下转动；第一转动组件设置于主转动件上，第二转动组件转动设置于第一转动组件上，取料组件设置于第二转动组件上；驱动电机设置于主转动件中且与第一转动组件连接，用于驱动第一转动组件转动，带动第二转动组件转动，在第一转动组件及第二转动组件转动的状态下，带动取料组件直线移动。只采用一个驱动电机驱动第一转动组件、第二转动组件及取料组件实现联动，无需多电机协同即可带动取料组件直线移动从而实现取料及搬运，因此可以快速、准确、高效地进行晶圆搬运，适用于搬运各种不同规格的晶圆，具有适用性广，体积小，结构简单，功耗低，控制简单、高效等优点。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及芯片制造领域，特别是涉及晶圆搬运机器人。

技术介绍

1、传统晶圆（wafer）搬运机器人，内部结构复杂，硬件成本极高，同时可二次开发特备困难，通常都是比较针对应的适应某一类或一款晶圆料片的搬运，导致价格高，开发困难等。

2、并且，晶圆搬运机器人在搬运晶圆时，通常需要多个电机进行协同操作，导致结构复杂、体积大以及功耗高。

技术实现思路

1、基于此，有必要提供一种晶圆搬运机器人。

2、本申请的一个实施例是，一种晶圆搬运机器人，其包括主转动件及手臂取料结构件；

3、所述手臂取料结构件设置于所述主转动件上，用于在所述主转动件带动下转动；

4、所述手臂取料结构件包括驱动电机、第一转动组件、第二转动组件及取料组件；

5、所述第一转动组件设置于所述主转动件上，所述第二转动组件转动设置于所述第一转动组件上，所述取料组件设置于所述第二转动组件上；

6、所述驱动电机设置于所述主转动件中且与所述第一转动组件连接，用于驱动所述第一转动组件转动，带动所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种晶圆搬运机器人（100），其特征在于，包括主转动件（300）及手臂取料结构件；

2.根据权利要求1所述晶圆搬运机器人（100），其特征在于，所述主转动件（300）的转轴、所述第一转动组件（500）的转轴、所述第二转动组件（600）的转轴相平行；或者，

3.根据权利要求1所述晶圆搬运机器人（100），其特征在于，所述手臂取料结构件还包括交叉滚子轴承（800）；

4.根据权利要求3所述晶圆搬运机器人（100），其特征在于，所述第一驱动齿轮（520）与所述第一从动齿轮（540）具有第一齿比，所述第二从动齿轮（640）与所述第二同步齿轮（620）具有第...

【技术特征摘要】

1.一种晶圆搬运机器人（100），其特征在于，包括主转动件（300）及手臂取料结构件；

2.根据权利要求1所述晶圆搬运机器人（100），其特征在于，所述主转动件（300）的转轴、所述第一转动组件（500）的转轴、所述第二转动组件（600）的转轴相平行；或者，

3.根据权利要求1所述晶圆搬运机器人（100），其特征在于，所述手臂取料结构件还包括交叉滚子轴承（800）；

4.根据权利要求3所述晶圆搬运机器人（100），其特征在于，所述第一驱动齿轮（520）与所述第一从动齿轮（540）具有第一齿比，所述第二从动齿轮（640）与所述第二同步齿轮（620）具有第二齿比，所述第一齿比与所述第二齿比相同。

5.根据权利要求3所述晶圆搬运机器人（100），其特征在于，所述第一驱动齿轮（520）与所述第一从动齿轮（540）的齿比为2:1，所述第二同步齿轮（620）与所述第二从动齿轮（640）的...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭玉峰，刘俊龙，袁亮，柯文豪，
申请(专利权)人：深圳市锐丰视觉科技有限公司，
类型：发明
国别省市：