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本发明属于光子探测技术领域，涉及一种氧化硅微球阵列增强的锗探测器及其制备方法；具体包括以下步骤：将Si单晶片进行化学清洗；将氧化硅粉末单分散在水中，制备成微球溶液；将微球溶液涂在Si单晶片上，制备出氧化硅微球阵列；将氧化硅微球阵列转移在聚二...
该专利属于西安知芯半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安知芯半导体有限公司授权不得商用。

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