下载一种改善硅片切割过程中崩边的方法的技术资料

文档序号:44485712

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本发明提供一种改善硅片切割过程中崩边的方法,所述方法适用于使用切割线进行硅片切割,在收刀阶段,降低所述切割线的线速度后保持匀速。所述方法在不改变原切割工艺的情况下,通过对切割条件的控制,可以大幅降低切割崩边比例。...
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