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本发明涉及外延片生长技术领域，具体公开了一种多片式外延炉腔室结构，通过在大基座上设有若干个与之转动配合的小基座，然后再在每个小基座上放置有可以用于放置衬底原料生长外延片的托盘，并且大基座内还设有若干个气道结构，每个气道结构都对应驱动一个小基...
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