下载半导体结构、半导体结构的形成方法及电子设备的技术资料

文档序号:44465615

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本申请涉及半导体技术领域,尤其涉及一种半导体结构、半导体结构的形成方法及电子设备,该半导体结构包括:衬底;从衬底的第一表面形成的浅沟槽隔离结构,以及从衬底的第二表面形成的深沟槽隔离结构;位于衬底中的至少两个有源区;形成于浅沟槽隔离结构靠近第...
该专利属于中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。

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