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检测机构(110)获取第一信息和第二信息，所述第一信息是表示悬臂在Z轴方向上的位置的信息，所述第二信息是表示试样(S)在Z轴方向上的位置或者试样台(14)在Z轴方向上的位置的信息。接近处理部(104)基于第一信息和第二信息来决定速度下降位置...
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