扫描型探针显微镜和控制方法技术

检测机构(110)获取第一信息和第二信息，所述第一信息是表示悬臂在Z轴方向上的位置的信息，所述第二信息是表示试样(S)在Z轴方向上的位置或者试样台(14)在Z轴方向上的位置的信息。接近处理部(104)基于第一信息和第二信息来决定速度下降位置。接近处理部(104)控制位移机构，以使接近速度在速度下降位置处从高速变为低速。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本公开涉及一种扫描型探针显微镜和控制方法。

技术介绍

1、所谓的光杠杆方式的扫描型探针显微镜(spm：scanning probe microscope)具备具有探针的悬臂、用于配置试样的工作台以及光学显微镜。用户等能够使光学显微镜与悬臂及工作台相独立地移动。用户能够使用光学显微镜来目视观察试样和探针的位置。

2、spm能够使悬臂的探针沿着试样的表面移动，通过检测悬臂的挠曲来获取试样的表面的凹凸图像。这种spm还具备朝向悬臂照射光的光照射部以及接收来自悬臂的反射光的光检测部。

3、spm在开始观察试样表面的情况下，首先执行使悬臂靠近试样的接近动作。具体而言，接近动作是通过使悬臂向铅直下方移动来使探针逐渐靠近试样表面的动作。另外，spm通过基于由来自光检测部的检测信号表示的信号值进行反馈控制，来使悬臂移动。而且，在该信号值达到预先设定的目标值的情况下，spm判断为探针接近了试样表面，使悬臂的移动停止。由此，spm结束接近动作，之后通过使悬臂在水平方向上扫描来进行试样表面的观察。

4、另外，在日本专利第2909828号公报(本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种扫描型探针显微镜，具备：

2.根据权利要求1所述的扫描型探针显微镜，其中，

3.根据权利要求1所述的扫描型探针显微镜，其中，

4.根据权利要求3所述的扫描型探针显微镜，其中，

5.根据权利要求4所述的扫描型探针显微镜，其中，

6.根据权利要求1～5中的任一项所述的扫描型探针显微镜，其中，

7.根据权利要求6所述的扫描型探针显微镜，其中，

8.根据权利要求1～5中的任一项所述的扫描型探针显微镜，其中，

9.根据权利要求1～5中的任一项所述的扫描型探针显微镜，其中，p>

10.根据...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种扫描型探针显微镜，具备：

2.根据权利要求1所述的扫描型探针显微镜，其中，

3.根据权利要求1所述的扫描型探针显微镜，其中，

4.根据权利要求3所述的扫描型探针显微镜，其中，

5.根据权利要求4所述的扫描型探针显微镜，其中，

6.根据权利要求1～5中的任一项所述的扫描型探针显微镜，其中，...

【专利技术属性】
技术研发人员：藤野敬太，
申请(专利权)人：株式会社岛津制作所，
类型：发明
国别省市：