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本发明公开一种非接触式等离子体监测方法以及利用其的非接触式等离子体监测装置。所述非接触式等离子体监测方法，包括：第一步骤，在包括天线的电感耦合等离子体发生器的外部配置一个以上的RF传感器，通过所述天线以对时间的函数分别测量感应到所述RF传感...
该专利属于韩国核融合能源研究院所有，仅供学习研究参考，未经过韩国核融合能源研究院授权不得商用。

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