温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请公开了一种基板的气浮运输装置，包括正压区、负压区、正压配气道、负压配气道、正压节流结构以及负压节流结构；其中，正压区与负压区交替分布在运输平台上；其中，一个正压区对应一个正压配气道，一个负压区对应一个负压配气道，一个正压区包括多个出气...
该专利属于广东国创科光电装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东国创科光电装备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。