【技术实现步骤摘要】
本申请涉及显示面板的输送，具体为一种基板的气浮运输装置。
技术介绍
1、目前，基板(包括玻璃基板、柔性基板等)在生产制造的运输过程中，传统接触式(如：滚轮驱动)的运输方式容易出现刮痕、形变以及局部应力集中等损坏情况。因此，当前多采用非接触式的气浮运输方式，气浮运输是通过出气孔出气让基板处于悬浮状态的运输。
2、然而，基板悬浮高度的要求在微米级，对气浮装置的气体稳定性要求较高。为了达到微米级的基板运输要求，现有气浮装置的结构较为复杂，也导致现有气浮装置的制造成本较高。
3、因此，需要一种基板的气浮运输装置来解决上述问题。
技术实现思路
1、本申请公开了一种基板的气浮运输装置，该装置结构简单，能够降低气浮装置的制造成本。
2、本申请第一方面公开了一种基板的气浮运输装置，所述气浮运输装置包括正压区、负压区、正压配气道、负压配气道、正压节流结构以及负压节流结构；其中，所述正压区与所述负压区交替分布在运输平台上；其中，一个所述正压区对应一个所述正压配气道，一个所述...
【技术保护点】
1.一种基板的气浮运输装置，其特征在于，所述气浮运输装置包括正压区、负压区、正压配气道、负压配气道、正压节流结构以及负压节流结构；其中，
2.根据权利要求1所述的气浮运输装置，其特征在于，所述气浮运输装置包括上层板；其中，
3.根据权利要求2所述的气浮运输装置，其特征在于，所述气浮运输装置包括下层板；其中，
4.根据权利要求3所述的气浮运输装置，其特征在于，一个所述正压配气道上设置正气源的多个进气口，一个所述负压配气道上设置负气源的多个出气口。
5.根据权利要求1-4任意一项所述的气浮运输装置，其特征在于，所述正压节流结...
【技术特征摘要】
1.一种基板的气浮运输装置，其特征在于，所述气浮运输装置包括正压区、负压区、正压配气道、负压配气道、正压节流结构以及负压节流结构；其中，
2.根据权利要求1所述的气浮运输装置，其特征在于，所述气浮运输装置包括上层板；其中，
3.根据权利要求2所述的气浮运输装置，其特征在于，所述气浮运输装置包括下层板；其中，
4.根据权利要求3所述的气浮运输装置，其特征在于，一个所述正压配气道上设置正气源的多个进气口，一个所述负压配气道上设置负气源的多个出气口。
5.根据权利要求1-4任意一项所述的气浮运输装置，其特征在于，所述正压节流结构和所述负压节流结构，两者的结构相同或不相同。
6.根据权利要求1-4任意一项所述的气浮运输装置，其特征在于，所述正压节流结构和所述负压节流结构均为浅槽形结构；其中，
7.根据权利要求6所述的气浮运输装置，其特征在于，所述正压节流结构包括出气段、进气段和正压中间结构，所述负压节流结构包...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘伟，蔡婵，唐伟，付宇，
申请(专利权)人：广东国创科光电装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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