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本技术涉及研磨工具技术领域，具体地说，涉及一种拼接研磨垫贴盘夹具。包括夹具主体，夹具主体一端端面向下凹陷形成供研磨垫放入的凹槽，凹槽的深度低于研磨垫的厚度。凹槽底部及侧壁均设有防粘涂层，进一步防止研磨垫背胶与夹具粘连，提高操作便捷性和拼接准...
该专利属于深圳市信越半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市信越半导体科技有限公司授权不得商用。

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