【技术实现步骤摘要】
本技术涉及研磨工具，具体地说，涉及一种拼接研磨垫贴盘夹具。
技术介绍
1、在玻璃、陶瓷、硅片、半导体晶圆等材料的加工过程中，研磨垫是不可或缺的工具。在研磨体积较大的材料时，需要体型较大的研磨垫，而体型较大的按摩垫不便于直接安装使用，需要由多个小片研磨垫拼接而成。这些小片研磨垫的背面涂覆有背胶，以便于将它们粘贴到研磨盘上，形成一个连续的研磨面。
2、目前，在安装体型较大的研磨垫时采用的方法是通过操作人员拼接这些小片研磨垫并贴附到研磨盘上，形成完整的研磨垫，由于每片研磨垫都带有背胶，一但工作人员在拼接时，拼接位置不准确，背胶接触到研磨盘，就很容易立即粘连，需要撕下并重新粘连，这样就会影响背胶的粘性和完整性，且操作人员往往难以一次性将多片研磨垫拼接完成，且容易出现拼接缝隙或整体偏位的问题。
技术实现思路
1、本技术提供了一种拼接研磨垫贴盘夹具，其能够解决现有技术中体型较大的研磨垫不便安装，小片研磨垫容易拼接不准的问题。
2、根据本技术的一种拼接研磨垫贴盘夹具，其包括：夹具...
【技术保护点】
1.一种拼接研磨垫贴盘夹具，其特征在于：包括夹具主体(100)，夹具主体(100)一端端面向下凹陷形成供研磨垫放入的凹槽(110)，凹槽(110)的深度低于研磨垫的厚度。
2.根据权利要求1所述的一种拼接研磨垫贴盘夹具，其特征在于：凹槽(110)的形状为圆形。
3.根据权利要求2所述的一种拼接研磨垫贴盘夹具，其特征在于：凹槽(110)底部及凹槽(110)侧壁处均设有防粘涂层(120)。
4.根据权利要求1所述的一种拼接研磨垫贴盘夹具，其特征在于：凹槽与防粘涂层中部位置均设有同等大小的通孔。
5.根据权利要求2所述的一种拼...
【技术特征摘要】
1.一种拼接研磨垫贴盘夹具，其特征在于：包括夹具主体(100)，夹具主体(100)一端端面向下凹陷形成供研磨垫放入的凹槽(110)，凹槽(110)的深度低于研磨垫的厚度。
2.根据权利要求1所述的一种拼接研磨垫贴盘夹具，其特征在于：凹槽(110)的形状为圆形。
3.根据权利要求2所述的一种拼接研磨垫贴盘夹具，其特征在于：凹槽(110)底部及凹槽(110)侧壁处均设有防粘涂层(120)。
4.根据权利要求1所述的一种拼接研磨垫贴盘...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘文彤，
申请(专利权)人：深圳市信越半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。