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本发明公开一种探针卡、多结构功率器件芯片的测试方法、自动化同步测试系统及存储介质,其探针卡设置有能够同时连接至功率器件芯片上的多种结构的探针,且探针卡上还设置有与各结构对应的探针布局,各探针布局均包括有与相应结构对应的电路回路;其测试方法用...该专利属于粤芯半导体技术股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过粤芯半导体技术股份有限公司授权不得商用。
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本发明公开一种探针卡、多结构功率器件芯片的测试方法、自动化同步测试系统及存储介质,其探针卡设置有能够同时连接至功率器件芯片上的多种结构的探针,且探针卡上还设置有与各结构对应的探针布局,各探针布局均包括有与相应结构对应的电路回路;其测试方法用...