下载晶棒切割系统的技术资料

文档序号:44431570

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本发明公开了一种晶棒切割系统,包括底座和至少两个切割室,每个切割室内设置有至少一个切割工位;旋转载料台上转动设置有多个晶棒夹持工位,每个晶棒夹持工位上设置有载料夹持装置;晶棒转运装置可移动的设置在切割室和旋转载料台之间,晶棒转运装置上转动设...
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