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本技术属于晶圆清洗技术领域，具体公开了用于晶圆清洗机的防污结构，用于解决喷淋后的药水随着杂质飞出晶圆之外并飞溅至喷淋臂上造成后续晶圆处理二次污染的技术问题；包括设置于承载盘上方的与机械臂末端相连接的喷淋组件，喷淋组件包括喷淋座，喷淋座的内底...
该专利属于立川（无锡）精密设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过立川（无锡）精密设备有限公司授权不得商用。

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