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本发明公开了场效应晶体管的制造方法及场效应晶体管,包括:提供半导体基体,半导体基体包括衬底、设置在衬底上的介质层,其中,衬底中设置有阱区,且介质层中形成有伪栅极结构,伪栅极结构对应阱区;移除伪栅极结构,在阱区中形成轻掺杂区,并阱区之上形成栅...该专利属于武汉新芯集成电路股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉新芯集成电路股份有限公司授权不得商用。
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本发明公开了场效应晶体管的制造方法及场效应晶体管,包括:提供半导体基体,半导体基体包括衬底、设置在衬底上的介质层,其中,衬底中设置有阱区,且介质层中形成有伪栅极结构,伪栅极结构对应阱区;移除伪栅极结构,在阱区中形成轻掺杂区,并阱区之上形成栅...