下载包括受控底部填充填角的光子芯片封装结构的技术资料

文档序号:44422847

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本发明涉及包括受控底部填充填角的光子芯片封装结构,提供封装光子芯片的结构以及相关方法。该结构包括光子芯片、封装衬底、设于该光子芯片与该封装衬底间的间隙中的多个电性连接,以及包括底部填充材料的填角。该填角经设置以与邻近该间隙的该光子芯片的部分...
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