下载晶体生长腔体观察窗组件和晶体生长设备的技术资料

文档序号:44422022

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本技术公开了一种晶体生长腔体观察窗组件和晶体生长设备,涉及半导体晶体生长设备技术领域,晶体生长腔体观察窗组件应用于晶体生长炉腔,晶体生长炉腔的顶部设有观察窗本体,观察窗本体朝向晶体生长炉腔内的待观察区域,晶体生长腔体观察窗组件包括转动结构和...
该专利属于广州海创产业技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过广州海创产业技术研究院授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。