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晶体生长腔体观察窗组件和晶体生长设备制造技术
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文档序号:44422022
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本技术公开了一种晶体生长腔体观察窗组件和晶体生长设备,涉及半导体晶体生长设备技术领域,晶体生长腔体观察窗组件应用于晶体生长炉腔,晶体生长炉腔的顶部设有观察窗本体,观察窗本体朝向晶体生长炉腔内的待观察区域,晶体生长腔体观察窗组件包括转动结构和...
该专利属于广州海创产业技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过广州海创产业技术研究院授权不得商用。
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