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本申请提出了压力检测装置、真空系统及晶圆减薄设备。所述压力检测装置用于检测晶圆减薄设备的真空系统的压力变化，所述压力检测装置包括压力传感器和压力传感器管路，所述压力传感器管路的第一端连接于所述压力传感器，所述压力传感器管路的第二端用于连接所...
该专利属于华海清科股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华海清科股份有限公司授权不得商用。

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