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本发明公开了一种晶圆载盘的校准机构，其包括：载盘，连接于所述载盘的底部中心的支撑件以及校准组件，所述支撑件内沿长度方向设有通腔，所述校准组件包括定位柱以及用于检测所述定位柱的位移检测传感器单元；所述定位柱穿设于所述通腔，且顶部固定连接于所述...
该专利属于拓荆科技（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过拓荆科技（上海）有限公司授权不得商用。

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